대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2004년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- Pages.497-500
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- 2004
수용성 포토레지스트와 이를 이용한 유기 박막의 photolithography 공정 연구
Photolithography process investment of water soluble photoresist and Organic thin film by using it.
- 김광현 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 김건주 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 류기성 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 김태호 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 송정근 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학부)
- Kim, Kwang-Hyun (Division of Electric at & Electronics & Computer Engineering Dong-A University) ;
- Kim, Gun-Ju (Division of Electric at & Electronics & Computer Engineering Dong-A University) ;
- Ryu, Ki.-Sung (Division of Electric at & Electronics & Computer Engineering Dong-A University) ;
- Kim, Tae-Ho (Division of Electric at & Electronics & Computer Engineering Dong-A University) ;
- Song, Jung-Kun (Division of Electric at & Electronics & Computer Engineering Dong-A University)
- 발행 : 2004.06.01