Extraction of Bias and Gate Length dependent data of Substrate Parameters for RF CMOS Devices

RF CMOS 소자 기판 파라미터의 바이어스 및 게이트 길이 종속데이터 추출

  • 이용택 (한국외국어대학교 전자정보공학과 전자공학전공) ;
  • 최문성 (한국외국어대학교 전자정보공학과 전자공학전공) ;
  • 이성현 (한국외국어대학교 전자정보공학과 전자공학전공)
  • Published : 2004.06.01

Abstract

The substrate parameters of Si MOSFET equivalent circuit model were directly extracted from measured S-Parameters in the GHz region by using simple 2-port parameter equations. Using the above extract ion method, bias and gate length dependent curves of substrate parameters in the RF region are obtained by varying drain voltage at several short channel devices with various gate lengths. These extract ion data will greatly contribute to scalable RF nonlinear substrate modeling.

Keywords