Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.04a
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- Pages.193.1-193
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- 2003
Characteristic of $ZrO_2$ Films Deposited by MO-ALD for Alternative Gate Dielectric Application
Alternative 게이트 옥사이드 적용을 위해 MO-ALD 로 증착된 $ZrO_2$ 의 특성연구
- Published : 2003.04.18
Abstract
Keywords