Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

O2/Ar 기체혼합비가 이온빔 스퍼터링 법으로 제조된 AlOx 박막의 산소 투과도 및 광학적 특성에 미치는 영향

  • 성진욱 ((주) P & I 기술 연구소, 연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김기환 ((주) P & I 기술 연구소) ;
  • 백영환 ((주) P & I 기술 연구소) ;
  • 고석근 ((주) P & I 기술 연구소)
  • Published : 2003.02.14
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Abstract

Keywords