Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

상압 플라즈마를 이용한 carbon film 증착 및 특성에 관한 연구

  • 김찬우 (성균관 대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 이용혁 (성균관 대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 정창현 (성균관 대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 박병재 (성균관 대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 염근영 (성균관 대학교 재료공학과 반도체 공정연구실)
  • Published : 2003.08.20
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Abstract

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