상압플라즈마를 이용한 TFT-LCD에서 PR ashing 특성에 관한 연구

• Park, Byeong-Jae ;
• Lee, Yong-Hyeok ;
• Jeong, Chang-Hyeon ;
• Kim, Chan-U ;
• Choe, Eun-Sik ;
• Yeom, Geun-Yeong

• 박병재 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 이용혁 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 정창현 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 김찬우 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 최은식 (LG 전자 정밀 가공 그룹 생산기술연구원) ;
• 염근영 (성균관대학교 재료공학과)

• Published : 2003.08.20

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