한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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- Pages.208-208
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- 2003
상압플라즈마를 이용한 TFT-LCD에서 PR ashing 특성에 관한 연구
- 박병재 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 이용혁 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 정창현 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 김찬우 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 최은식 (LG 전자 정밀 가공 그룹 생산기술연구원) ;
- 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
- Park, Byeong-Jae ;
- Lee, Yong-Hyeok ;
- Jeong, Chang-Hyeon ;
- Kim, Chan-U ;
- Choe, Eun-Sik ;
- Yeom, Geun-Yeong
- 발행 : 2003.08.20