대한설비공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the SAREK Conference)

대한설비공학회 (The Society of Air-Conditioning and Refrigerating Engineers of Korea)
권호 표지

초청정 클린룸의 기류 및 가스오염 특성 해석

Analysis on the Airflow and the Gas Contamination Characteristics in Super Clean Room

  • 노광철 (서울시립대학교 대학원 기계정보공학과) ;
  • 이승철 (동해대학교 자동차공학과) ;
  • 오명도 (서울시립대학교 기계정보공학과)
  • Noh Kwang-Chul (Graduate school of Mechanical and Information Engineering, University of Seoul) ;
  • Lee Seung-Chul (Department of Automotive Engineering, Donghae University) ;
  • Oh Myung-Do (Department of Mechanical and Information Engineering, University of Seoul)
  • 발행 : 2003.07.01
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