한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)

한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

투과형 LCD 패널을 이용한 실시간 포토리소그래피

Real-time photolithography employing a transparent LCD panel as a configurable mask

  • 피성훈 (고려대학교 대학원 전기공학과) ;
  • 박병호 (고려대학교 대학원 전기공학과) ;
  • 장유진 (고려대학교 대학원 전기공학과) ;
  • 김강현 (고려대학교 대학원 전기공학과) ;
  • 안승언 (고려대학교 대학원 전기공학과) ;
  • 강병현 (고려대학교 대학원 전기공학과) ;
  • 염민수 (고려대학교 대학원 전기공학과) ;
  • 성만영 (고려대학교 대학원 전기공학과) ;
  • 김규태 (고려대학교 대학원 전기공학과)
  • Pieh, Sung-Hoon (Department Of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Park, Byoung-Ho (Department Of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Jang, Yu-Jin (Department Of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Kim, Kang-Hyun (Department Of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Ahn, Seung-Eon (Department Of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Kang, Byung-Hyun (Department Of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Youm, Min-Soo (Department Of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Sung, Man-Young (Department Of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Kim, Gyu-Tae (Department Of Electrical Engineering, Korea University)
  • 발행 : 2003.11.13
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초록

핸드폰에 장착된 반투과형 LCD (Liquid Crystal Display) 패널에서 반사판을 제거하면 투과형 LCD 마스크로 이용할 수 있다. LCD 패널의 광 흡수 실험에서 얻은 스펙트럼을 참고하여 다양한 파장대의 광원으로 리소그래피 하였다. 컴퓨터 이미지 프로그램으로 편집한 그림을 핸드폰 전용 통신 케이블을 통하여 LCD 패널로 전송하여, 다양한 모양의 패턴을 기판위에 전사하는데 성공하였다. 픽셀간의 경계가 현상되어 끊어지는 패턴이 형성되는 LCD 마스크의 단점을 극복하여 연속적인 패턴결과를 얻는데도 성공하였다. 이로부터 프로젝션 리소그래피의 응용에 쉽게 접근할 수 있는 발판이 마련된 것으로 생각된다.

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