Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2003.07a
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- Pages.553-556
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- 2003
The electrical and structual characteristics of BSCCO film by MOD method
MOD법을 제작된 BSCCO 고온초전도체의 구조적 전기적 특성
- Kim, Sun-Mi (Sogang Univ.) ;
- Yoon, Soon-Il (Sogang Univ.) ;
- Park, Mi-Hwa (Sogang Univ.) ;
-
Lee, Kie-Jin
(Sogang Univ.)
;
- Cha, Deok-Joon (Kunsan Univ.)
- Published : 2003.07.10
Abstract
금속유기물 용액 증착법(MOD)법은 금속유기물 용액을 스핀 코팅하여 고온 열처리를 통해 대면적의 고온 초전도 박막을 만들 수 있으며, 고가의 진공 시스템이 필요하지 않기 때문에 매우 경제적인 박막 증착 방법이다. 본 연구에서는 MOD법을 이용해서 고온초전도체 마이크로파 필터나 터널접합 소자와 같은 전자 소자 응용 연구를 위해 요구되는 높은 임계전류 특성을 갖도록 박막 성장 조건을 변화시켜서 제작된 고온 초전도체 Bi2Sr2CaCu2O8+d (BSCCO2212) 박막을 제작하였다. 박막 특성은 x-ray diffraction (XRD), scanning electron microscope (SEM)으로 표면적, 구조적 특성을 관찰하고 저항-온도 (R-T) 변화 및 전류-전압 (I-V) 특성 측정을 통해 전기적 특성을 연구하여 임계전류를 향상 시킬 수 있는 박막제작 조건에 관해 논의하였다.