한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1
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- Pages.361-365
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- 2003
$BCl_3,\;BCl_3/Ar,\;BCl_3/Ne$ 유도결합 플라즈마에 의한 InGaP 건식 식각 비교
Comparison of InGaef etching $BCl_3,\;BCl_3/Ar\;and\;BCl_3/Ne$ inductively coupled plasmas
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백인규
(인제대학교 나노공학과 / 나노 기술 응용연구소) ;
- 임완태 (인제대학교 나노공학과 / 나노 기술 응용연구소) ;
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이제원
(인제대학교 나노공학과 / 나노 기술 응용연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학과 / 나노 기술 응용연구소) ;
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전민현
(인제대학교 나노공학과 / 나노 기술 응용연구소)
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Baek, In-Kyoo
(In-je Univ.) ;
- Lim, Wan-Tae (In-je Univ.) ;
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Lee, Je-Won
(In-je Univ.) ;
- Jo, Guan-Sik (In-je Univ.) ;
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Jeon, Min-Hyun
(In-je Univ.)
- 발행 : 2003.07.10
초록
Planar Inductively Coupled Plasma (PICP) etching of InGaP was performed in