Deposition of edge filters for optical communications using an optical thickness monitoring system

광학두께 감시기를 이용한 광통신용 경계 필터의 증착

최근 음성, 화상 및 동영상 등의 대용량 정보전송 요구에 따라 광 통신용 광학 박막의 필요성이 점차 증대되고 있으며, 특히 광통신에서 주로 사용되는 두 파장영역(1300nm／1500nm)을 분리하는 1300nm／1500nm 경계 필터는 WDM 양방향 광통신 시스템 등에 많이 응용 되고 있다. 광통신용 광학 박막은 보통 그 증착 두께가 일반 광학 박막에 비해 매우 두꺼우므로 증착 시 두께 조절의 어려움이 있을 수 있으며, 오랜 시간 증착 하는 동안 증착조건의 변화에 의해 증착물질의 광학상수의 변화 등 여러 가지 문제점들을 가질 수 있다. (중략)