Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Error compensation in the optical 3D phase measuring profilometry

광위상 3차원 형상 측정법에서의 오차보정

  • 황용선 (전북대학교 기계설계학과) ;
  • 강영준 (전북대학교 기계설계학) ;
  • 백성훈 (한국원자력연구소 양자광학기술개발) ;
  • 박승규 (한국원자력연구소 양자광학기술개발) ;
  • 임창환 (한국원자력연구소 양자광학기술개발부)
  • Published : 2003.07.01
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Abstract

PMP(Phase Measuring Profilometry)측정법은 투영계와 기록계의 기하학적 구성과 광학계의 정렬적인 문제에 의해서 기본적으로 오차를 가지고 측정된다. 일반적으로 PMP 형상 측정에서 측정면과 광학계의 높이가 피 측정면에 비해서 상당히 큰 경우, CCD 카메라에서 높이 방향으로 측정영역이 작아지게됨으로써 측정위상이 기준면에서의 위치와 높이 방향에 따라서 다르게 나타나고 프로젝터가 측정면에 투영되는 간섭무의의 피치가 다르게 적용된다. (중략)

Keywords