Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Tolerance Design of Position Accuracy of Optical components by Statistical Design of Experiment

통계적 실험 계획법을 이용한 광학 부품의 위치 정밀도 허용오차 설계

  • 황병철 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로 포토닉스 센터) ;
  • 박헌용 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로 포토닉스 센) ;
  • 이재영 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로 포토닉스 센) ;
  • 이승걸 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로 포토닉스 센) ;
  • 오범환 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로 포토닉스 센) ;
  • 이일항 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로 포토닉스 센) ;
  • 박세근 (인하대학교 정보통신공학부 마이크로 포토닉스 센) ;
  • 최두선 (한국 기계 연구원)
  • Published : 2003.02.01
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Abstract

최근 광통신의 발전은 광 통신 소자의 제작시 집적화, 소형화, 경량화 그리고 저가격화를 원하게 되었다. 이러한 문제점을 해결하기 위해, 기판 위에 광소자를 집적하는 미세 광학 벤치 (Micro Optical Bench)에 대한 많은 연구가 진행되고 있는 중이다. MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정기술인 벌크(bulk) 마이크로 머시닝 기술을 이용함으로서 하나의 기판 위에 광소자들을 조립하는 미세 광학 벤치를 구현 할 수 있다. (중략)

Keywords