Proceedings of the IEEK Conference (대한전자공학회:학술대회논문집)
- 2003.07b
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- Pages.1061-1064
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- 2003
Interface properties of $Al_{2}O_{3}$ thin film using ALD method on metal film and Fabrication of MIM capacitor
금속 박막위에 ALD법으로 형성된 $Al_{2}O_{3}$ 박막의 계면 특성과 MIM capacitor의 제조
Abstract
In this paper, we deposited A1
Keywords