Proceedings of the IEEK Conference (대한전자공학회:학술대회논문집)
- 2003.07b
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- Pages.1037-1040
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- 2003
A New Miniaturized Electron-Beam deflector for Microcolumn
Microcolumn 을 위한 새로운 개념의 초소형 전자빔 deflector
- Han, Chang-Ho (Seoul National University) ;
- Kim, Hak (Seoul National University) ;
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Chun, Kuk-Jin
(Seoul National University)
- Published : 2003.07.01
Abstract
본 논문에서는 microcolumn 을 위한 초소형 전자빔 deflector 의 제작방법과 microcolumn array 에서 deflector 의 외부 패드를 최소화 할 수 있는 새로운 배선방법을 기술하였다. 배선의 통로 및 절연체 역할을 하는 Pyrex glass 의 양쪽에 각각 실리콘 웨이퍼의 양극접합 및 deep reactive ion etching(DRIE)과 금속 전기 도금을 이용하여 다층배선을 하였다. 이 배선방법을 이용하면 microcolumn array 가 수백개가 되더라도 deflector 의 외부 패드는 항상 8개를 유지할 수 있다.
Keywords