Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy of Pulse Magnetron Sputtering Discharge

OES를 이용한 펄스 마그네트론 스퍼터링의 공간분포에 관한 연구

  • 김용모 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술연구센터) ;
  • 정민재 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술연구센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술연구센터) ;
  • 오수기 (아주대학교)
  • Published : 2003.10.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords