R.F Sputtering 법으로 제조한 ITO 박막의 미세구조가 전기.광학 특성에 미치는 영향

Effect of ITO Thin Films Microstructure on Electrical and Optical Properties

  • 정영희 (영남대학교 금속공학과) ;
  • 김규호 (영남대학교 금속공학과)
  • 발행 : 2003.10.01