리플로우법에 의한 글래스 마이크로렌즈의 제작과 표면연마

초록

키워드

• 마이크로렌즈;
• 리플로우;
• 유리 웨이퍼;
• 이방성 에칭;
• 반응성 이온 에칭;
• 자성유체;
• 연마

• Microlens;
• Reflow;
• Glass wafer;
• Anisotropy etching;
• RIE;
• MR fluid;
• Polishing;