Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.11a
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- Pages.192-192
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- 2003
Nanostructural and Optical Features of nc-Si:H thin Films Prepared by PECVD Techniques
PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성
Abstract
Keywords