Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2003.11a
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Pages.191-191
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2003

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Structural and optical features of SRSO films grown by RF magnetron sputter

고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조된 SRSO 박막의 구조적, 광학적 특성

김승원 (인하대학교 재료공학부 반도성재료연구실) ;
조남희 (인하대학교 재료공학부 반도성재료연구실)

Published : 2003.11.01

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Abstract

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