유도결합형 플라즈마를 이용한 비파괴 판독형 강유전체 메모리를 위한 강유전체 SBT 박막의 건식 식각 특성

Dry Etching Characteristics of Ferroelectric SBT nin Film for NDRO-FRAM Using Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching

  • 발행 : 2003.05.01