Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2003.03a
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Pages.59-59
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2003

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Chemical Mechanical characterizations of surface reaction during Cu CMP

Cu CMP시 Cu와 슬러리의 반응의 기계적 화학적 특성평가

류주석 (한양대학교) ;
엄대홍 (한양대학교) ;
홍의관 (한양대학교) ;
박진구 (한양대학교)

Published : 2003.05.01

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