Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Removal effect of particles from wafers with plasma position during laser shock cleaning process

Laser 충격파 세정에서 플라즈마 생성 위치에 따른 오염 입자 제거 효과

  • 강영재 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 이상호 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 이종명 (㈜아이엠티, 레이저응용그룹) ;
  • 김태훈 (연세대학교 금속공학과)
  • Published : 2003.05.01
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Abstract

Keywords