한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집
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- Pages.209-209
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- 2002
Nano-structure of $Si_{3}N_{4}$ on Si(001) using ionized $N_{2}$ gas
- 발행 : 2002.02.19