Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Nano-structure of $Si_{3}N_{4}$ on Si(001) using ionized $N_{2}$ gas

  • 정민철 (서울시립대학교 물리학과) ;
  • 한문섭 (서울시립대학교 물리학과) ;
  • 유병덕 (서울시립대학교 물리학과) ;
  • 공기정 (서울시립대학교 양자정보처리단)
  • Published : 2002.02.19
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Abstract

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