Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
- /
- Pages.192-192
- /
- 2002
QMS를 이용한 radical의 공간분포 측정
-
Kim, Jeong-Hyeong
;
- Song, Seon-Ho ;
-
Im, Jong-Yeon
;
-
Seong, Dae-Jin
;
-
Sin, Yong-Hyeon
;
-
Hong, Seung-Su
;
-
Im, In-Tae
;
- Jeong, Gwang-Hwa
-
김정형
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 송선호 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
-
임종연
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
-
성대진
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
-
신용현
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
-
홍승수
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
-
임인태
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords