Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.191-191
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- 2002
건식 진공펌프와 확산펌프에서의 오일 증기 역류 현상에 대한 고찰
- Jeong, Sun-Hui ;
- Im, Jong-Yeon ;
- Lee, Wan-Hyeong ;
- Seong, Dae-Jin ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Jeong, Gwang-Hwa
- 정순희 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 이완형 (충남대학교) ;
- 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords