Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.114-114
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- 2002
Atomic Layer Deposition of TiO2 Thin Films from Titanium Isopropoxide and Water
- Lee, Jae-Pil ;
- Jang, Yeong-Jin ;
- Gwak, Hyeon-Tae ;
-
Park, Chan-Ryang
;
- Lee, Gyeong-Eun ;
- Kim, Yeong-Man ;
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Seong, Myeong-Mo
- 이재필 (국민대학교 화학과) ;
- 장영진 (국민대학교 화학과) ;
- 곽현태 (국민대학교 화학과) ;
-
박찬량
(국민대학교 화학과) ;
- 이경은 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
- 김영만 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
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성명모
(국민대학교 화학과)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords