유기금속화학증착법에 의한 Si기판상의 ZnO박막의 성장 및 구조적 특성

  • 김광식 (인하대학교 재료공학부) ;
  • 이정호 (인하대학교 재료공학부) ;
  • 김현우 (인하대학교 재료공학부)
  • 발행 : 2002.02.19