Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2002.02a
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Pages.60-60
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2002

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Quantitative depth profile of Nitrogen in ultrathin Oxynitride film with SIMS and MEIS

손현경 (충북대학교 물리학과) ;
강희재 (충북대학교 물리학과) ;
홍태은 (하이닉스) ;
김현경 (한국표준과학연구원) ;
문대원 (한국표준과학연구원)

Published : 2002.02.19

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