Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.59-59
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- 2002
As/Si 초 다층박막에서의 이차이온질량분석법의 정량 및 깊이 분포 측정
- Gang, Hui-Jae ;
- Jo, Seong-Bu ;
- Son, Hyeon-Gyeong ;
- Hong, Tae-Eun ;
- Kim, Hyeon-Gyeong ;
- Kim, Gyeong-Jung ;
- Lee, Hyeong-Ik ;
- Mun, Dae-Won
- 강희재 (충북대학교 물리학과) ;
- 조성부 (충북대학교 물리학과) ;
- 손현경 (충북대학교 물리학과) ;
- 홍태은 (하이닉스) ;
- 김현경 (한국표준과학연구원) ;
- 김경중 (한국표준과학연구원) ;
- 이형익 (한국표준과학연구원) ;
- 문대원 (한국표준과학연구원)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords