수소 열처리를 이용한 고신뢰성 트렌치 게이트 MOSFET

• Kim, Sang-Gi ;
• No, Tae-Mun ;
• Park, Il-Yong ;
• Yang, Il-Seok ;
• Lee, Dae-U ;
• Gu, Jin-Geun ;
• Kim, Jong-Dae

• 김상기 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소 집적회로연구부) ;
• 노태문 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소 집적회로연구부) ;
• 박일용 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소 집적회로연구부) ;
• 양일석 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소 집적회로연구부) ;
• 이대우 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소 집적회로연구부) ;
• 구진근 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소 집적회로연구부) ;
• 김종대 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소 집적회로연구부)

• Published : 2002.06.27

• PDF