Decaborane 이온 주입법에 의한 ultra-shallow p+/n junction의 전기적 특성에 관한 연구

• Song, Jae-Hun ;
• Song, Jong-Han ;
• Im, Seong-Il ;
• Jeon, Gi-Yeong ;
• Choe, Deok-Gyun ;
• Choe, Won-Guk

• 송재훈 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
• 송종한 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
• 임성일 (연세대학교 물리 및 응용물리 사업단) ;
• 전기영 (연세대학교 물리 및 응용물리 사업단) ;
• 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과) ;
• 최원국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)

• Published : 2002.06.27

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