한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15
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- Pages.460-463
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- 2002
RF magnetron sputtering법으로 제조한 $MoO_3$ 박막의 가스 감지 특성 및 첨가물의 영향
Gas Sensing Characteristics and Doping Effect of $MoO_3$ Thin Films prepared by RF magnetron sputtering
- Hwang, Jong-Taek (Chungbuk national University) ;
- Jang, Gun-Eik (Chungbuk national University)
- 발행 : 2002.11.07
초록