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한국전자현미경학회:학술대회논문집
2002.11a
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Pages.49-53
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2002
Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)
Preparation of Noise(Si K Peak) Free FIB-TEM Sample for EDS Analysis
Choe, Jin-Tae
;
Kim, Jong-Hyeop
;
Choe, Geun-Yeong
;
Park, Ju-Cheol
;
Lee, Sun-Yeong
최진태
((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
김종협
((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
최근영
((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
박주철
((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀) ;
이순영
((주)하이닉스 반도체 메모리(연) 분석개발팀)
Published : 2002.11.01
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