Measurement and Evaluation of Form Accuracy of Large Optical Surfaces

대구경 광학표면의 형상정밀도 측정 및 평가

  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2002.07.01

Abstract

대구경 광학계는 일반적으로 직경이 100 밀리미터 이상 1 미터에 이르는 거울이나 렌즈를 총칭한다. 이러한 대구경 광학계의 수요는 과거에는 천문 관측용 광학 부품에 주로 한정되었으나, 근래에 들어 인공위성의 지상 또는 우주 관측의 수요가 늘면서 다양한 형상의 대구경 광학계의 생산이 증대되고 있다. 또한 최근 들어서는 전자 및 디스플레이 산업에서 복잡한 형상 패턴의 노광 방식에 의한 기술의 사용이 증대되면서 노광기의 핵심부품인 대구경 광학계의 소비자 산업의 수요도 점차 확대되어 가고 있다. (중략)

Keywords