Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.95-95
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

CHARACTERIZATION OF $(Ba,Sr)RuO_3$ FILMS DEPOSITED BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION USING TMHD OR METHD BASED METAL-ORGANIC SOURCE

TMHD 와 METHD 유기소스를 적용한 CVD법을 이용하여 증착된 $(Ba,Sr)RuO_3$ 박막의 특성 평가

김윤수 (한양대학교 세라믹공학과) ;
최덕균 (한양대학교 세라믹공학과) ;
김영배 (한양대학교 세라믹공학과) ;
김현철 (한양대학교 세라믹공학과) ;
유차영 ((주)삼성전자) ;
김성태 ((주)삼성전자)

Published : 2002.11.01

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Abstract

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