Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Atomic Layer Deposition of ZrSilicate Using a new precursor

새로운 단일 전구체를 이용한 Zr silicate의 원자층 화학증착법

  • 남원희 (포항공과대학교 화학공학과) ;
  • 김원규 (포항공과대학교 화학공학과) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과)
  • Published : 2002.11.01
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Abstract

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