한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

코발트 금속 배리어의 채용에 의한 콘택저항의 개선

Contact Resistance improvement by employing Cobalt Barrier

  • 이상현 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
  • 이기영 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
  • 정성희 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
  • 송오성 (서울시립대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2002.11.01
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