Double Gate MOSFET의 전기적 특성 분석

Analysis of Electrical Characteristics for Double Gate MOSFET

CMOS 소자들은 고속 동자 및 고집적을 위해 50nm이하로 작아지고 있다. 소자 scaling에서 중요한 것은 스케일 되지 않은 문턱 전압($V^{th}$ ), 고 전계, 기생 소스/드레인 저항과 임의의 dopant 분배에 의한 $V^{th}$ 변화율이다. 이런 일반적인 소자의 scaling down 문제들을 해결하기 위해 새로운 소자의 구조가 제안된다. 본 논문에서는 이런 문제들을 해결하기 위해 main-gate와 side-gates를 갖는 double-gate MOSFET에 대해 조사하였다.

CMOS devices have scaled down to sub-50nm gate to achieve high performance and high integration density. Key challenges with the device scaling are non-scalable threshold voltage( $V^{th}$ ), high electric field, parasitic source/drain resistance, and $V^{th}$ variation by random dopant distribution. To solve scale-down problem of conventional structure, a new structure was proposed. In this paper, we have investigated double-gate MOSFET structure, which has the main-gate and the side-gates, to solve these problem.