Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.05a
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Pages.123-123
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Formation of Ti(Ta)N by Annealing in $NH_3$ environment

$NH_3$ 분위기 열처리에 의한 Ti(Ta)N 형성

박수진 (수원대학교 전자재료공학과) ;
이근우 (수원대학교 전자재료공학과) ;
배규식 (수원대학교 전자재료공학과) ;
권영호 (수원대학교 전자재료공학과)

Published : 2002.05.01

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