Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Etching of Solid Surfaces irradiated by Gas Cluster Ion Beams

가스 클러스터 이온 빔에 의한 고체표면 식각에 관한 연구

  • 송재훈 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 최원국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료 공학과)
  • Published : 2002.05.01
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Abstract

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