버퍼층을 갖는 ZnS 기판상에 PECVD 방식으로 형성된 DLC 박막의 기계적, 광학적 특성에관한 연구

The mechanical and optical properties of diamond-like carbon films by PECVD on buffer-layered zinc sulfide substrates

  • 송영식 (한국생산기술연구원 신소재개발본부) ;
  • 송정식 (한국생산기술연구원 신소재개발본부) ;
  • 정운재 (한국생산기술연구원 신소재개발본부) ;
  • 김종렬 (한양대학교 금속재료공학과)
  • 발행 : 2002.05.01