한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집 (Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference)
- 한국마이크로전자및패키징학회 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
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- Pages.234-237
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- 2002
코발트실리사이드 박막을 이용한 발열 엑츄에이터의 제작
Fabrication of Heating Actuator Using Cobalt Silicided Thin Films
초록
The cobalt silicide was formed OH POly-Si/SiO
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