한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집 (Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference)
- 한국마이크로전자및패키징학회 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
- /
- Pages.158-164
- /
- 2002
ICPHFCVD법에 의한 탄소나노튜브의 생장 및 I-V 특성에 관한 연구
A Study on the Growth of Carbon Nanotube by ICPHFCVD and their I-V Properties
초록
본 연구에서는 탄소나노튜브를 직류 바이어스가 인가된 유도결합형 플라즈마 열선 화학기상증착 장치를 이용하여 58
키워드