전력전자학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIPE Conference)
- 전력전자학회 2002년도 전력전자학술대회 논문집
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- Pages.163-165
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- 2002
Gate-LDD구조를 가진 LDMOS 전력소자의 전기적 특성
Electrical Characteristics of LDMOS Power Device with LDD Structure
- Oh Jung-Keun (School of Semiconductor Engineering, Chungbuk National University) ;
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Kim Nam-Su
(School of Semiconductor Engineering, Chungbuk National University)
- 발행 : 2002.07.01
초록
LDD구조를 가진 LDMOS 전력소자의 LDD영역과 채널영역변화에 의한 전기적 특성을 비교 조사하였다. MEDICI 시뮬레이션 tool을 이용하여 hot-carrier전류의 특성, ON 저항의 변화, breakdown 전압의 특성과 switch transient 특성을 조사하였다. Gate-drain 사이의 불순물도핑 영역 및 농도에 따른 소자의 특성해석은 LDD구조를 가진 LDMOS가 hot-carrier resistance 및 전력소모 관점에서 우수한 특성을 나타낼 것으로 사료된다
키워드