한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2001년도 제21회 학술발표회 초록집
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- Pages.53-53
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- 2001
B$_{10}H_{14}$ 을 이용한 ultra shallow-junction 형성 및 전기적 특성
- 송재훈 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
- 송종한 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
- 이준엽 (연세대학교 응용물리학과) ;
- 임성일 (연세대학교 응용물리학과) ;
- 오민석 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
- 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과) ;
- 최원국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
- Song, Jae-Hun ;
- Song, Jong-Han ;
- Lee, Jun-Yeop ;
- Im, Seong-Il ;
- O, Min-Seok ;
- Choe, Deok-Gyun ;
- Choe, Won-Guk
- 발행 : 2001.07.05