Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2001.02a
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- Pages.117-117
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- 2001
글로우 방전을 이용한 진공용기의 청정화에 관한 연구
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Kim, Jeong-Hyeong
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- Seo, In-Yong ;
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Im, Jong-Yeon
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Hong, Seung-Su
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Sin, Yong-Hyeon
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Im, In-Tae
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Seong, Dae-Jin
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- Jeong, Gwang-Hwa
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김정형
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 서인용 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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임종연
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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홍승수
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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신용현
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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임인태
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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성대진
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
- 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
- Published : 2001.02.22
Abstract
Keywords