Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in-situ 박막 두께 측정 연구

  • 김경렬 (서울대학교 응용화학부) ;
  • 이지화 (서울대학교 응용화학부)
  • Published : 2001.02.22
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords